非接觸式三維輪廓儀也叫光學(xué)3D表面輪廓儀、白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀等，是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。

功能

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角

點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離

圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離

線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線

主要用于對各種精密器件表面進行納米級測量，儀器通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

主要測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。